如在加丁過程中對研拋工具形狀、工件支撐狀態(tài)以及加工參數(shù)等進(jìn)行實(shí)時(shí)自適應(yīng)控制，從而提高了加工精度和效率，發(fā)展成為“準(zhǔn)確定性”超精密加工技術(shù)，這種方式是目前光學(xué)元件的主要加工方式

　　與非確定性超精密加工技術(shù)相比，準(zhǔn)確定性超精密加T技術(shù)具有以下特點(diǎn)：

　?、賹庸ぴO(shè)備精度要求較高：由于加工過程中需要控制加工點(diǎn)和丁具的相對位置精度，所以要求加工設(shè)備具有較高的重復(fù)定位精度，一般要求在0.01mm左右即可滿足使用要求

　　②由于通過理論計(jì)算或試驗(yàn)可以得到加工過程的去除函數(shù)，所以較為準(zhǔn)確地控制每次加工的去除量，通過對去除函數(shù)收斂性的分析仿真可以大大縮短加工周期，這樣不僅提高了加丁精度，同時(shí)也縮短了加工效率、降低了生產(chǎn)成本；

　?、劭梢酝ㄟ^加工設(shè)備復(fù)雜的多軸運(yùn)動(dòng)控制工具的軌跡，進(jìn)行包括非球面、自由曲面等復(fù)雜曲面超精密加工。

　　標(biāo)簽：精密加工